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澳门新葡亰平台官网高端论坛第三场--先进蓝宝石晶圆研抛光制程之发展和趋势
2015-05-27访问次数:
     2015年5月27日上午,澳门新葡亰平台官网成功举办了第三场高端论坛,此次论坛邀请到了华侨大学特聘教授、闽江学者讲座教授、台湾科技大学陈炤彰教授,陈教授以“先进蓝宝石晶圆研抛光制程之发展和趋势”为主题为研究院师生做了一次生动的讲座。

    陈教授首先先容了人造蓝宝石的应用范围,并就蓝宝石基板到衬底的切割、磨削以及抛光的加工工艺过程进行了详细先容。其中,他重点讲述对蓝宝石晶棒通过金刚石线锯的切割后,通过粗抛来改善表面的粗糙度以修复较深的刮伤、改善平坦度,通过多晶钻石液配合树脂锡盘以Lapping的方式进行精抛的过程。在讲座过程中,陈教授结合各类电镜图、实物图和实际加工过程示例,先容了其研究成果,加深了同学们对于讲座内容的理解。

    最后,陈教授简要先容了台湾的情况以及自己的实验室情况,并且欢迎同学们到台湾科技大学进行交换学习。在问答环节,老师和同学们就蓝宝石切片厚度、超薄晶原与正常晶原的加工区别等方面问题展开了讨论,陈教授给予了详细的回答。在师生们热烈的掌声中,结束了本次讲座。

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